科技日報北京10月8日電 (記者付麗麗)8日,記者從國度市場監管總局得悉,該局近日新批準二維鉻納米柵格尺度物資、二維硅納米柵格尺度物資、一維硅納米光柵尺度物資3項國度一級尺度物資,這些物資可以或許同時知足納米制造財產角度和長度校準需求,為新一代信息技巧、新資料、生物制造、高端設備等範疇的納米制造供給精準“標尺”。
據尺度物資研制單元同濟年夜學相干專家先容,研制高精包養網度納米級尺度物資,是打造高正確度納米丈量傳遞鏈、晉陞國產納米制造產物東西的品質靠得住性的要害。二維鉻納米柵格尺度物資衝破性地采用分步堆積原子光刻技巧,制備難度較年夜,可直接溯源到天然界量子化物理常數(鉻原子躍遷頻率),角度盡瞄準確性在0.001°量級,相當于把一個蛋糕包養按扇形均分紅36萬份;二維鉻納米柵格的構造面積普通為300μm(微米)×300μm(微米),在沒有劃傷或損壞的狀態下,每次應用2μm(微米)×2μm(微米),不重復應用測包養量區域次數可達20000次以上。其可利用于晶圓級原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡等集成電路微納檢測設包養網備校準,也可利用于對超緊密位移傳感器多種參數的光柵干預法校準。
納米級角度尺度物資的研制勝利,完成了納米丈量範疇的扁平化計量,可經由過程在線校準直接將高精度計量數據傳遞到企業計量現場,防止傳統逐級量值傳遞方法形成的誤差累積縮小,將為我國納米制造財產高東西的品質成長供給無力支持。
據清楚,國度市場監管總局將連續強化納米丈量範疇尺度物資研制利用,進一個步驟處理納米制造“測不了、測不全、測不準”題目,為筑牢新興財產和將來財產技巧基本供給支持保證包養網心得。
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